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WD4000晶圓薄膜厚度測量設備亞納米級精準量測，解決半導體工藝中薄膜厚度測量中面臨的”傳統設備分辨率低，無法捕捉納米級薄膜厚度變化“”硬質探針接觸測量易劃傷碳化硅、藍寶石等精密晶圓表面“”多層/特殊晶圓適配難“等測量難題。

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