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WD4000晶圓薄膜厚度測量設備亞納米級精準量測，解決半導體工藝中薄膜厚度測量中面臨的”傳統設備分辨率低，無法捕捉納米級薄膜厚度變化“”硬質探針接觸測量易劃傷碳化硅、藍寶石等精密晶圓表面“”多層/特殊晶圓適配難“等測量難題。

WD4000晶圓高精度厚度測量設備可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實現砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質晶圓的量測。

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WD4000中圖儀器無圖晶圓幾何測量系統兼容不同材質不同粗糙度、可測量大翹曲wafer、測量晶圓雙面數據更準確。它通過非接觸測量，將晶圓的三維形貌進行重建，強大的測量分析軟件穩定計算晶圓厚度，TTV，BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產生劃痕缺陷。

?WD4000晶圓BOW值彎曲度測量系統可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實現砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質晶圓的量測。