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中圖儀器VT6000系列激光掃描共聚焦顯微鏡?在材料生產領域中，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

以共聚焦技術為原理的VT6000光學共聚焦掃描顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖儀器VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術，通過數碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力；以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

VT6000共聚焦顯微鏡高度測量精度≤(0.2+L/100)μm，重復性≤12nm，可精準捕捉臺階、曲率、平面度等核心幾何參數；寬度測量精度±2%，重復性≤40nm，清晰還原微小輪廓的尺寸細節(jié)。