您是否面臨著“測量精度不足致產品報廢"“環境干擾引發數據漂移"“安裝適配難"“多軸/長行程測量誤差累積"“定制化需求無法滿足"等困擾？PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器，既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統實現閉環位置反饋控制，解決航空航天、半導體制造、大型精密加工等B端場景中，“測量量程不足被迫分段檢測"“長行程測量誤差累積"“產能擴張后設備無法適配新需求"的問題。

一、產品簡介

PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺是利用激光干涉的原理對位移進行高精度測量輸出，完成實時控制的閉環應用。是一種基于激光干涉測量原理的高精度、高靈敏度、高速度的位置檢測設備，主要功能是位移高精度測量，閉環控制。廣泛應用在超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域中。

二、解決哪些測量痛點？

三、有哪些功能特點？

1、高分辨率數字正交信號輸出，分辨率達10nm（可外部拓展）。

2、高測量精度，線性測量精度達0.2~0.5ppm。

3、高穩頻精度，可達0.02~0.05ppm。

4、測量范圍大，量程可達4m（可拓展）。

5、激光發射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機遠離被測量設備，便于安裝，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。

6、輸出正交數字信號或1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。

7、體積小巧，適合狹小空間安裝，可限度降低阿貝誤差。

8、即可作為激光干涉儀進行測量，也可用于閉環位置反饋控制。

9、多通道輸出，可輕松實現多軸同時測量及多自由度測量。

10、環境補償功能，一體化的環境氣象站自動監視及更新環境氣象參數，實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準確性。

四、典型應用場景

半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。

航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。

精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量。

科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制。

 五、服務與支持

定制化方案：根據需求提供探頭配置、量程拓展、環境補償單元等靈活選配。

專業認證：提供激光校準證書，確保數據性。

服務網絡：1年質保，技術支持團隊7×24小時響應，快速解決現場問題。

如需了解PLR3000光纖激光尺參數細節、合作政策或獲取樣品測試，歡迎聯系中圖儀器！

注：產品參數隨技術迭代優化，相關內容可能實時更新，恕不另行通知。